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高压电子束蒸发GT400-E1
膜厚参数：膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸： 400*400*560mm
真空系统：分子泵（国产/进口）
极限真空：3*10 -5Pa
电子枪：进口5-12KW电子枪4-6穴坩埚
基片尺寸：4-6英寸可定制
软件：半自动与全自动软件控制
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高压电子束蒸发GT500-E1
膜厚参数：膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸： 500*500*600mm
真空系统：分子泵（国产/进口）
极限真空：3*10 -5Pa
电子枪：国产5-12KW电子枪4-6穴坩埚
基片尺寸：4-8英寸可定制
软件：半自动与全自动软件控制
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电子束热蒸发集成 GT500-E1-S6
膜厚参数：膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸： 500*500*600mm
真空系统：分子泵（国产/进口）
极限真空：3*10 -5Pa
蒸发源：2-6组蒸发源
电子枪：国产5-12KW电子枪4-6穴坩埚
基片尺寸：4-8英寸可定制
软件：半自动与全自动软件控制
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